MOCVD毒气报警与处理  

作　　者：郭友才[1] 许峰岩 

机构地区：[1]化工部光明化工研究所,116031

出　　处：《稀有金属》1993年第4期309-314,共6页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：综述了国内外电子气体的监测报警与解毒技术的原理及应用概况。重点论述了适用于 MOCVD工艺装置的监测报警与解毒技术及研究工作的发展与现状。

关 键 词：MOCVD 毒气警报器 解毒装置 

分 类 号：TU897[建筑科学]