毒气警报器

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MOCVD毒气报警与处理
《稀有金属》1993年第4期309-314,共6页郭友才 许峰岩 
综述了国内外电子气体的监测报警与解毒技术的原理及应用概况。重点论述了适用于 MOCVD工艺装置的监测报警与解毒技术及研究工作的发展与现状。
关键词：MOCVD 毒气警报器 解毒装置 
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