基于MEMS的生物微传感技术  

Micro-biosensing technology based on MEMS

作　　者：许媛媛[1] 夏善红[1] 边超[1] 刘敬伟[1] 孙红光[1] 陈绍凤[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所国家传感技术重点实验室,北京100080

出　　处：《传感器技术》2005年第2期5-7,10,共4页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家自然科学基金资助项目(90307014)

摘　　要：微电子机械系统(MEMS)技术为生物微传感器和生物芯片的研制以及实现小型化、便携式、低成本,高灵敏度的生化片上系统提供了有力的技术支持。综述了基于MEMS的生物微传感技术,介绍了生物微传感器和生物芯片的原理、结构、分类及应用,并探讨了其发展和应用前景。MEMS has become a supporting technology in the research of micro-biosensor,biochip and biomedical SOC(system-on-a-chip) which have the advantages of miniaturization,low cost and good sensitivity.A review is given about the technologies of bioMEMS and the principle,structure,classification and application of micro-biosensors and biochips are summarized.And their development and application prospect are inquired into.

关 键 词：微电子机械系统 生物微传感器 生物芯片 片上系统 

分 类 号：TP212.2[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]