微机械技术正面临新突破(一)  

作　　者：鲍敏杭[1] 

机构地区：[1]复旦大学

出　　处：《仪表技术与传感器》1993年第6期5-7,共3页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：本文从历史的角度总结了微机械技术的出现、发展的历程、它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以1993年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据,介绍了微机械技术的最新进展与突破。

关 键 词：执行器 微机械 敏感器 

分 类 号：TH－39[机械工程]