LSK—3型离子束刻蚀机的结构设计  

作　　者：谈治信 惠金河 

机构地区：[1]兰州物理研究所,730000

出　　处：《真空与低温》1993年第3期139-146,共8页Vacuum and Cryogenics

摘　　要：LSK—3型离子束刻蚀机是用于刻蚀动压气体轴承螺旋槽为主的超精细加工专用设备。自1985年研制成功后,该机经过上百次长期使用运转,成功地刻蚀了台阶轴套.半球轴套、上推板螺旋轮等器件,每次开机连续工作10h,连续刻蚀时间8h 以上。实践证明:该机工作可靠、稳定、技术成熟。是一台国内领先的离子束刻蚀设备。对该机的设计原理、真空系统计算、结构特点、发展前景作以介绍。

关 键 词：离子束 刻蚀 真空 刻蚀机 

分 类 号：TN405.982[电子电信—微电子学与固体电子学]