刻蚀机

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神工股份:刻蚀机“互补品”
《企业家信息》2023年第4期109-111,共3页蒋忻 
半导体级单晶硅材料是集成电路产业链中重要的基础材料,按照其应用领域,可分为芯片用单晶硅材料和刻蚀用单晶硅材料。前者主要用于晶圆制造所需硅片,后者则用于加工制成刻蚀设备硅部件,而刻蚀用单晶硅部件是晶圆制造刻蚀环节所需的核心...
关键词：晶圆制造 芯片制造 单晶硅材料 刻蚀设备 刻蚀机 机械加工 设备需求 半导体 
神工股份:刻蚀机“互补品”
《经理人》2022年第10期58-60,共3页蒋忻 
作为国产刻蚀用单晶硅材料的龙头,神工股份凭借15~16英寸的产品获得一众国际主流刻蚀机厂商的青睐。但成也萧何败萧何,其境外市场占比过重,尤其半导体行业极易受到贸易摩擦等影响,除了加大对内出货,丰富和完善产品线也是其应对挑战的策略。
关键词：市场占比 单晶硅材料 半导体行业 产品线 贸易摩擦 国际主流 股份 互补品 
集成电路刻蚀装备及其核心部件的发展历程
《微纳电子与智能制造》2022年第1期5-13,共9页韦刚 成晓阳 刘建 刘卓远 王娜 赵晋荣 
1947年贝尔实验室诞生第一块晶体管,经过70多年的发展,集成电路芯片技术已日新月异,人类已向1 nm技术节点发起挑战。随着集成电路制造技术的飞速发展,新材料、新结构的不断引入,High-k栅氧化物层+金属栅极、鳍式场效应晶体管、环绕式栅...
关键词：集成电路 刻蚀机 等离子体 
离子束刻蚀机电控系统设计被引量：2
《科技创新与应用》2019年第13期95-96,共2页许钊 薛鹏 
运动控制系统是实现离子束刻蚀机控制算法和轨迹拟合算法的硬件基础,因此需要在传动运动控制系统上,进行进一步的研究,以满足离子束刻蚀机刻蚀闪耀曲面光栅的要求,文章按照离子束刻蚀机运动控制系统的功能要求设计了工作平台的电控系统...
关键词：步进电机 硬件设计 运动控制 
中国芯片产业上的亮点——芯片刻蚀机生产企业调研
《互联网周刊》2018年第11期28-29,共2页轩中 
中兴通讯被美国禁运芯片事件爆发之后,中国在芯片全产业链上的一些弱点不可避免地暴露了出来,比如在光刻机与EDA工具上,中国本土企业几乎是一片空白。但是,中国在整个产业链中,并不是没有亮点。其中,在芯片刻蚀机的国产化上,中国企业已...
关键词：芯片产业 中国企业 刻蚀机 生产企业 调研 本土企业 EDA工具 光刻机 
8产品名称：22—14nm单反应台等离子体刻蚀机PrimoSSCAD—RIE^TM
《电子工业专用设备》2016年第2期47-49,共3页
研制单位： 中微半导体设备（上海）有限公司 产品介绍： 等离子体刻蚀设备是极大规模集成电路制造的三大关键设备之一，PrimoSSCAD-RIE^TM是中微公司目前最先进的等离子体刻蚀设备，可用于1X纳米关键刻蚀工艺芯片加工。SSC，即单反...
关键词：等离子体 产品名称 反应 刻蚀机 半导体设备 集成电路制造 刻蚀设备 研制单位 
中微交付韩国用于3D VNAND闪存工艺的先进刻蚀机
《中国集成电路》2015年第8期10-10,共1页
中微半导体设备有限公司（中微）日前宣布中微单反应台等离子体刻蚀设备（PrimoSSCAD-RIE-TM）已交付韩斟领先的存储器制造商。PrimoSS-CAD-RIE-TM是中微公司目前最先进的介质刻蚀设备，可用于1Xnm关键刻蚀工艺芯片加工。
关键词：刻蚀工艺 NAND闪存 交付 刻蚀机 3D 韩国 刻蚀设备 半导体设备 
中微3D VNAND闪存工艺的先进刻蚀机
《集成电路应用》2015年第8期44-44,共1页
中微半导体设备有限公司宣布Primo SSC AD-RIE-TM（中微单反应台等离子体刻蚀设备）已交付韩国领先的存储器制造商。Primo SSC AD-RIE-TM是中微公司目前最先进的介质刻蚀设备，可用于1×纳米关键刻蚀工艺芯片加工。在此之前，中微的Prim...
关键词：刻蚀工艺 NAND闪存 刻蚀机 3D 刻蚀设备 半导体设备 大批量生产 SSC 
设备综合效率在真空刻蚀机上的应用
《江苏科技信息》2015年第21期47-49,共3页古枫 黎明柱 
真空刻蚀机为一种昂贵的晶圆加工设备,在半导体领域有着广泛的应用,其设备主要用来加工晶圆上面的图形,从而制造电子元器件,因此,这种设备的价格也是非常昂贵的。文章首先通过介绍真空刻蚀机的基本构造以及工作原理,了解设备的运行及加...
关键词：OEE TPM 生产效率 真空刻蚀机 
基于语义的仿真文件跨平台访问方法
《计算机集成制造系统》2015年第7期1771-1780,共10页武园浩 田凌 
国家科技部重大专项02专项资助项目(2011ZX02403);国家自然科学基金资助项目(51175287)~~
针对目前仿真数据管理技术缺少文件语义访问接口支持的问题,提出基于语义的仿真文件跨平台访问方法,并开发了一个面向刻蚀机研发中仿真数据管理的语义文件系统。在工程需求分析的基础上,为实现仿真项目语义的结构化表达,开发了面向产品...
关键词：仿真数据管理 语义访问接口 本体 语义倒排索引 刻蚀机 
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