8产品名称：22—14nm单反应台等离子体刻蚀机PrimoSSCAD—RIE^TM  

出　　处：《电子工业专用设备》2016年第2期47-49,共3页Equipment for Electronic Products Manufacturing

摘　　要：研制单位： 中微半导体设备（上海）有限公司 产品介绍： 等离子体刻蚀设备是极大规模集成电路制造的三大关键设备之一，PrimoSSCAD-RIE^TM是中微公司目前最先进的等离子体刻蚀设备，可用于1X纳米关键刻蚀工艺芯片加工。SSC，即单反应台腔体，

关 键 词：等离子体 产品名称 反应 刻蚀机 半导体设备 集成电路制造 刻蚀设备 研制单位 

分 类 号：TN405.982[电子电信—微电子学与固体电子学]