单片InGaAs／InP　PIN　PD阵列  

Monolithic InGaAs/InP PIN PD Array

作　　者：杨易[1] 施惠英[1] 程宗权[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海冶金所

出　　处：《半导体光电》1994年第2期109-112,共4页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：文章简要地介绍了ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰＰＩＮＰＤ阵列的制作现状及其应用和发展趋势。A brief introduction of the current state of fabrication for an InGaAs/InP PIN PD array is presented with the prediction of future development.

关 键 词：INGAAS/INP PIN PD 阵列 探测器 

分 类 号：TN382[电子电信—物理电子学]