多晶硅敏感技术(连载二)  

Sensing Technology Based on Polycryctalline Silicon (Serial two)

作　　者：王善慈[1] 

机构地区：[1]电子工业部第49研究所

出　　处：《传感器技术》1994年第2期51-59,共9页Journal of Transducer Technology

关 键 词：多晶硅 敏感器件 敏感技术 薄膜 

分 类 号：TN379[电子电信—物理电子学]