王善慈

作品数：11被引量：27H指数：2
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日本微电子机械系统研究现状被引量：1
《传感器技术》2001年第11期63-65,共3页庄庆德 王善慈 陈书旺 
河北省自然科学基金 ( 6 0 0 2 49)资助
介绍了日本微电子机械系统的发展现状。分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域。
关键词：传感器 微电子机械系统 微机械加工 
硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析被引量：15
《传感器技术》2001年第4期31-33,共3页齐虹 王蕴辉 易德兴 王善慈 
电子工业部军品预研项目资助! (B962 63 3 3 )
通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应...
关键词：可靠性 试验方法 失效模式 压力传感器 硅 
耐高温多晶硅应变计
《传感器技术》2001年第3期21-23,共3页孙凤玲 田雷 孙学智 王善慈 
介绍了一种适用于特殊环境进行高温测量的多晶硅应变计的原理、设计、制作工艺及粘贴方法。它的特点是耐高温 (可用在温度达 2 5 0℃的环境中 )、体积小、安装方便。该种应变计已用于检测电站锅炉焊缝的牢固程度 。
关键词：多晶硅 应变计 粘接 传感器 
二线制带隔离膜片的扩散硅液位变送器被引量：2
《传感器技术》2001年第1期50-51,共2页李瑞 李丹 齐虹 田雷 王善慈 孙凤玲 
由于液位与液体静压力有关 ,因此可以通过静压力测量得到液位的大小。二线制隔离膜片扩散硅液位变送器是利用单晶硅的压阻效应 ,通过电阻的变化 ,得到静压力的大小 ,再通过惠斯登电桥及功能模块电路将静压力转换成电流信号输出 ,从而建...
关键词：变送器 液位测量 扩散硅压力传感器 密封 二线制带隔离膜片 
压力变送器的抗电磁干扰技术研究
《传感器技术》2000年第3期44-45,48,共3页李瑞 齐虹 李丹 王善慈 卢慧斌 胡凤霞 
介绍了压力变送器抗电磁干扰的一些措施、办法及实验结果 ,通过采用穿心电容等措施和办法 。
关键词：压力变送器 抗电磁干扰 空心电容 
多晶硅敏感技术(连载六)
《传感器技术》1994年第6期55-61,共7页王善慈 
6.4.2金属衬底的多晶硅压力传感器 单晶硅弹性膜片在直接与被测介质接触时抗冲击性差、不利于测量有腐蚀性介质的压力,且大面积单晶硅弹性膜片的成本也大。因此在特定场合用金属薄板作弹性膜片更为有利。
关键词：多晶硅 敏感技术 硅 
多晶硅敏感技术(连载五)被引量：2
《传感器技术》1994年第5期55-64,共10页王善慈 
6 多晶硅压力传感器 近些年来,随着多晶硅薄膜地深入研究,以在绝缘层上生长多晶硅薄膜(SOI)制作应变电阻器为敏感元件的压力传感器,其优越性已被广大研究者和生产部门所认可。 ①具有较大的压阻效应,最大值可达单晶硅的70％;并呈良好的...
关键词：多晶硅 敏感技术 压力传感器 
多晶硅敏感技术(连载四)被引量：5
《传感器技术》1994年第4期56-64,共9页王善慈 
5 多晶硅薄膜的压阻效应 目前,多晶硅薄膜在传感器上的应用主要有压力传感器、加速度传感器、应变计、热电传感器及执行器等。对于前几种可归结为力学量传感器,其理论基础是依据于多晶硅的压阻效应。
关键词：多晶硅 敏感技术 压阻效应 
多晶硅敏感技术(连载三)被引量：1
《传感器技术》1994年第3期50-57,共8页王善慈 
4 多晶硅薄膜的电学特性 多晶硅薄膜的敏感特性与它的电学性质有着密不可分的联系。为了获得良好的多晶 硅敏感器件,必须分析其电学性质,找出它与薄膜结构、进而与生长条件、工艺过程等的联系,以便通过对生长条件及其工艺过程的控制来...
关键词：多晶硅 敏感器件 硅薄膜 
多晶硅敏感技术(连载二)被引量：1
《传感器技术》1994年第2期51-59,共9页王善慈 
关键词：多晶硅 敏感器件 敏感技术 薄膜 
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