日本微电子机械系统研究现状  

Development and current status of MEMS in Japan

作　　者：庄庆德[1] 王善慈[2] 陈书旺[1] 

机构地区：[1]河北科技大学信息学院,河北石家庄050054 [2]信息产业部电子第49研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《传感器技术》2001年第11期63-65,共3页Journal of Transducer Technology

基　　金：河北省自然科学基金 ( 6 0 0 2 49)资助

摘　　要：介绍了日本微电子机械系统的发展现状。分析了该技术发展的背景、基础技术、应用领域。The development and current status of MEMS(microelectromechanical systems)in Japan.The background,base technology,applications,problems and trend in this century of MEMS are reviewed.

关 键 词：传感器 微电子机械系统 微机械加工 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]