孙凤玲

作品数:2被引量:4H指数:2
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发文主题:集成化单晶硅液位测量液位变送器变送器更多>>
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集成化触觉阵列传感器的研制被引量:2
《传感器技术》2001年第2期52-53,共2页田雷 孙凤玲 寇文兵 
介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物...
关键词:机器人 触觉阵列 单晶硅 传感器 CMOS 
二线制带隔离膜片的扩散硅液位变送器被引量:2
《传感器技术》2001年第1期50-51,共2页李瑞 李丹 齐虹 田雷 王善慈 孙凤玲 
由于液位与液体静压力有关 ,因此可以通过静压力测量得到液位的大小。二线制隔离膜片扩散硅液位变送器是利用单晶硅的压阻效应 ,通过电阻的变化 ,得到静压力的大小 ,再通过惠斯登电桥及功能模块电路将静压力转换成电流信号输出 ,从而建...
关键词:变送器 液位测量 扩散硅压力传感器 密封 二线制带隔离膜片 
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