集成化触觉阵列传感器的研制  

A research on integrated tactile-array sensor

作　　者：田雷[1] 孙凤玲[1] 寇文兵[1] 

机构地区：[1]信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001

出　　处：《传感器技术》2001年第2期52-53,共2页Journal of Transducer Technology

摘　　要：介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物体 ,其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。An integrated monocrystalline silicon tactile-array sensor is introduced,having 100 taticle-units.Chip's dimensions: 25*#mm×25*#mm,thickness is less than 10*#mm.Having been combined with CMOS and simiconductor planar technology and by using MEMS technology, points that are force-sensitive to the objects that they contact are made in each tactile-unit;test and record is completed by computer.

关 键 词：机器人 触觉阵列 单晶硅 传感器 CMOS 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP242[自动化与计算机技术—控制科学与工程]