在低温炉中退火和高温RTA情况下双极晶体管的杂质扩散行为及0.5μ…  

作　　者：潘荔伟 张文金 

出　　处：《山东半导体技术》1994年第3期55-64,共10页

关 键 词：双极晶体管 杂质扩散 退火 高温 快速热退火 

分 类 号：TN322.805[电子电信—物理电子学]