新型薄膜材料—AIN  

作　　者：张佐兰 张言一 

出　　处：《山东半导体技术》1994年第3期12-17,共6页

关 键 词：半导体器件 绝缘膜 薄膜材料 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]