一种新型可调谐光栅的制作工艺  

A Novel Fabricating Process of the Tunable Grating

作　　者：徐晓刚[1] 郑川[2] 高文秀[3] 

机构地区：[1]厦门大学机电系,福建厦门361005 [2]厦门大学物理系,福建厦门361005 [3]厦门大学纳米工程技术研究中心,福建厦门361005

出　　处：《微纳电子技术》2005年第3期126-128,138,共4页Micronanoelectronic Technology

基　　金：国家863高速光通信滤波器项目(2003AA312070)

摘　　要：基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺。经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应。By virtue of MEMS processes, silicone rubber can be used to form a tunable grating, which is one of the important optical MEMS devices. This paper provides the fabricating processes of grating in details. Finally, the results of ANSYS simulation show that the silicone rubber membrane has a good linear response.

关 键 词：硅橡胶薄膜 微机电系统 光栅常数可变光栅 

分 类 号：TN929.1[电子电信—通信与信息系统] TN214[电子电信—信息与通信工程]