郑川

作品数：2被引量：3H指数：1
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发文主题：胰岛素注射药物利用风湿给药装置疾患更多>>
发文领域：电子电信机械工程生物学经济管理更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《微纳电子技术》更多>>
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用(110)硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管被引量：1
《中国机械工程》2005年第13期1161-1164,共4页郑川 徐晓刚 高文秀 
描述了一种用(110)晶面硅片制造微米针管的新方法。利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造,针管内径约10μm,外径约90μm,长度约500μm。整个针管结构平坦,便于与微泵等其他MEMS器件相接合,用于无痛皮下注射器和...
关键词：微米针管 MEMS 各向异性腐蚀 凸角结构 (110)晶面 
一种新型可调谐光栅的制作工艺被引量：2
《微纳电子技术》2005年第3期126-128,138,共4页徐晓刚 郑川 高文秀 
国家863高速光通信滤波器项目(2003AA312070)
基于MEMS工艺,用硅橡胶制作了光栅常数可变型光栅,可用于光学MEMS器件中的关键部件,给出了可调谐光栅的详细制作工艺。经ANSYS对硅橡胶衬底光栅的弹性模量动态模拟,结果显示本光栅具有良好的线性响应。
关键词：硅橡胶薄膜 微机电系统 光栅常数可变光栅 
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