像差畸变及预校正映射  

IMAGE DISTORTION AND PRECORRECTION MAPPING

作　　者：王绍钧[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系

出　　处：《微细加工技术》1994年第3期1-5,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：本文根据磁偏转场畸变的物理原因，分析构造畸变及校正的映射函授，并给出校正电路的运算公式及公式的精度分析。Based on the physical mechanism of distortion in magnetic deflectingfieu,the distortion mapping and precorrection mapping are structured.Thecalculating formulas of the coriection ci rcuit and their precision are presentedas well。

关 键 词：电子束曝光 像差畸变 预校正 映射 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]