等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果  

作　　者：汤宝寅[1] 

机构地区：[1]哈尔滨工业大学

出　　处：《物理》1994年第2期106-111,共6页Physics

摘　　要：等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果汤宝寅（哈尔滨工业大学，哈尔滨１５０００６）在ｐｓｌｌ前期研究工作上，我们主要集中在室温下气体离子注入，主要是氮离子注入。初步研究结果表明，ＰＳＩＩ氮离子注入能够显著提高某些材料的表面硬度和抗磨损特性...

关 键 词：等离子体源 离子注入 钛合金 

分 类 号：TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理]