精密传感器的电子束真空封装和半穿透焊接技术  

作　　者：林世昌[1] 张燕生[1] 范炳林[1] 

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所,北京市100080

出　　处：《仪表技术与传感器》1994年第5期11-14,共4页Instrument Technique and Sensor

摘　　要：真空电子束焊接具有许多特点,用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的,本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。

关 键 词：传感器 电子束 焊接 真空封装 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]