张燕生

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供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
发文主题：材料改性传感器衬底超导膜SOI更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
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电子束刻蚀超导膜的实验研究
《电子科学学刊》1995年第5期553-556,共4页林世昌 张燕生 柴璋 李碧钦 
国家自然科学基金
本文论述了扫描电子束对YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导膜进行干法刻蚀的实验研究;试验了电子束工艺参数对刻蚀效果的影响;初步讨论了超导膜改性的机制。扫描电子束能使被刻蚀的超导膜局部改性为非超导膜,将为干法制备超导器件提供一个有效的方法。
关键词：超导膜 刻蚀 材料改性 扫描电子束 
精密传感器的电子束真空封装和半穿透焊接技术
《仪表技术与传感器》1994年第5期11-14,共4页林世昌 张燕生 范炳林 
真空电子束焊接具有许多特点,用于精密传感器的封装焊接和特殊焊接是非常合适的,本文专题介绍真空封装和半穿透焊接技术。
关键词：传感器 电子束 焊接 真空封装 
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