用金属有机汽相外延技术制作焦平面列阵的InSb光电二极管  

作　　者：高国龙 

出　　处：《红外》2005年第4期46-46,共1页Infrared

摘　　要：工作于3μm～5μm大气窗口的焦平面列阵具有许多军事和民间应用,如前视红外、导弹制导、无损材料测试以及肿瘤检查等.用离子注入技术可以制作出高均匀性的探测器,但是这种工艺会限制PN结的质量,增加仪器内的暗电流,而且需要低的操作温度.

关 键 词：焦平面列阵 光电二极管 INSB 技术制作 汽相外延 金属有机 离子注入技术 大气窗口 前视红外 导弹制导 材料测试 高均匀性 操作温度 探测器 PN结 暗电流 

分 类 号：TN364[电子电信—物理电子学]