适合集成电路生产的SIMOX SOI  

作　　者：Hon Wai Lam 倪沛然 

出　　处：《微电子学》1989年第5期8-13,共6页Microelectronics

摘　　要：由于SIMOX SOI(氧离子注入隔离绝缘体上硅膜材料)能很好地满足当今的集成电路要求,并能同传统的集成电路制造兼容,它越来越广泛地用于集成电路(IC)的生产。本文介绍SIMOX的这些特性及其当前的应用。

关 键 词：集成电路 SIMOX SOI技术 

分 类 号：TN405.95[电子电信—微电子学与固体电子学]