基于材料去除的微制造技术发展  

Development of micro-fabrication technology based on material removal

作　　者：李莉[1] 齐乐华[1] 徐林峰[1] 杨方[1] 

机构地区：[1]西北工业大学机电学院,西安710072

出　　处：《机械设计与制造》2005年第4期88-90,共3页Machinery Design & Manufacture

基　　金：航天支撑基金资助项目

摘　　要：这里将微机械制造技术分为材料去除技术、材料沉积(增材)制造技术和变形制造技术,对基于材料去除的微制造技术的原理、方法、特点、应用和发展现状进行了比较和综述,在此基础上对微制造技术的发展方向作出了预测。Micro mechanical manufacturing technology is divided into material r emoval technology, material deposition (increasing material) manufacturing techn ology and deforming manufacturing technology. This paper gives a comparison and review of principle, method, feature,application and development state of micro -fabrication technology based on material removal, and presents the development direction of micro-fabrication in the future.

关 键 词：材料去除 MEMS 微加工 

分 类 号：TH16[机械工程—机械制造及自动化]