一种制作可变光衰减片的新方法  

A Novel Method of Fabricating Graded Attenuating Thin Film Used for Variable Optical

作　　者：陈思乡[1] 江征风[1] 胡业发[1] 许远忠[2] 

机构地区：[1]武汉理工大学机电工程学院,武汉430070 [2]武汉邮电科学研究院,武汉430074

出　　处：《光通信技术》2005年第4期13-14,共2页Optical Communication Technology

摘　　要：介绍了一种制作可变光衰减器用衰减片的新方法,即采用曲线型沉积孔挡板,结合基片旋转,在玻璃基底上获得厚度线性变化的溅射金属膜层,形成可变光衰减器。

关 键 词：可变光衰减器 金属膜 溅射沉积 

分 类 号：TN929.11[电子电信—通信与信息系统]