潘宁型放电等离子体的发射光谱分析  

Emission spectrum of Penning-type plasma discharge

作　　者：李慧玉[1] 施芸城[1] 冯贤平 杨平[1] 

机构地区：[1]东华大学物理系,上海200051 [2]波多黎各大学物理系,圣胡安009313343

出　　处：《物理实验》2005年第7期15-17,24,共4页Physics Experimentation

基　　金：上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金

摘　　要：重新设计了潘宁型等离子体源实验装置,在低气压下得到了稳定的等离子体.分析了等离子体的发射光谱,得到了等离子体光谱强度与放电气压和放电电压之间的关系,并且对氮气的发射光谱进行了分析.A Penning-type discharge (PD) device has been made for producing stable plasma at very low gas pressure in our lab. The plasma emission spectrum is analyzed. The relations between spectrum intensity and discharge gas pressure or voltage are obtained. As an example, the emission spectrum of nitrogen is analyzed.

关 键 词：潘宁放电 等离子体诊断 发射光谱 

分 类 号：O531[理学—等离子体物理]