杨平

作品数：5被引量：12H指数：2
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供职机构：东华大学更多>>
发文主题：发射光谱放电等离子体潘宁放电氮化碳薄膜空心阴极更多>>
发文领域：理学一般工业技术轻工技术与工程更多>>
发文期刊：《真空》《发光学报》《物理实验》更多>>
所获基金：上海市科学技术发展基金教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
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介质阻挡放电等离子体沉积多孔硅纳米颗粒膜的光发射及红外光谱被引量：3
《发光学报》2010年第6期904-907,共4页刘磊 杨沁玉 王德信 杨平 张菁 
国家自然科学基金(10775031;10835004)资助项目
用介质阻挡放电(DBD)等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在沉积区域加载脉冲负偏压进行调节,在玻璃基片上沉积得到具有荧光特征的多孔硅纳米颗粒膜。沉积过程的发射光谱结果表明,在412 nm处出现S iH*(A2Δ→X2Π0-0...
关键词：多孔硅纳米颗粒膜 发射光谱 红外光谱 占空比 介质阻挡放电等离子体沉积 
潘宁放电溅射沉积纳米级AlN薄膜的性质
《真空》2006年第2期32-35,共4页李慧玉 施芸城 闫永辉 杨平 冯贤平 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
设计并制造了新的潘宁型等离子体源实验装置,分析了等离子体的发射光谱和产生A lN的动力学机理。在室温条件下,纯氮气的工作环境中用潘宁放电离子源溅射的方法,在S i(100)衬底上制备了纳米级的光滑平整A lN薄膜。本文用扫描电镜(SEM),...
关键词：潘宁放电 溅射 AIN薄膜 
偏压对空心阴极放电等离子体溅射制备氮化碳薄膜的影响被引量：1
《物理实验》2005年第12期15-19,共5页杨平 冯贤平 施芸城 闫永辉 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)单晶衬底上沉积了氮化碳薄膜.薄膜的表面形貌表明所得的薄膜非常的均匀光滑.用X光电子能谱、拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究.在拉曼光谱中可以看到典型的G,D和C N键的峰...
关键词：氮化碳薄膜 直流空心阴极放电 偏压 
空心阴极放电沉积氮化碳薄膜的结构和成键性质被引量：1
《物理实验》2005年第9期13-16,共4页杨平 冯贤平 施芸城 闫永辉 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
利用空心阴极放电等离子体源在Si(100)衬底上沉积了氮化碳薄膜.用XRD,SEM,XPS及拉曼和红外吸收光谱对薄膜的结构、成分和化学键等进行了研究.XRD分析表明,制备的氮化碳薄膜为非晶结构.XPS分析证实了薄膜中以C—C,sp2CN和sp3CN键为主,并...
关键词：氮化碳薄膜 直流空心阴极放电 XPS 拉曼光谱 红外吸收光谱 
潘宁型放电等离子体的发射光谱分析被引量：7
《物理实验》2005年第7期15-17,24,共4页李慧玉 施芸城 冯贤平 杨平 
上海市科学技术发展基金项目(No.0252nm110);教育部科学技术研究重点项目(No.03077);波多黎各大学启动基金
重新设计了潘宁型等离子体源实验装置,在低气压下得到了稳定的等离子体.分析了等离子体的发射光谱,得到了等离子体光谱强度与放电气压和放电电压之间的关系,并且对氮气的发射光谱进行了分析.
关键词：潘宁放电 等离子体诊断 发射光谱 
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