直拉硅中氮与氧的相互作用  

作　　者：刘培东 李立本[1] 阙端麟[1] 余思明[1] 

机构地区：[1]浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室,中南工业大学应用物理及热能工程系

出　　处：《中国有色金属学报》1995年第2期112-115,共4页The Chinese Journal of Nonferrous Metals

摘　　要：应用红外光谱技术研究了ＣＺ硅中氮与氧的相互作用，实验发现硅中氮的行为不仅与热处理温度有关，而且与热处理时间、样品的热历史等因素有关，由此得出，硅中氮与氧的相互作用实际上分为三个阶段：（１）氮氧复合物的形成，（２）氮氧复合物的脱溶，（３）以氮为中心的氧沉淀的长大。

关 键 词：氮氧复合物 氧沉淀 硅 热处理 

分 类 号：O613.72[理学—无机化学]