MEMS高g值加速度计力学分析  

Mechanics analysis of MEMS high g accelerometer

作　　者：李仁锋[1] 文贵印[1] 程永生[1] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900

出　　处：《传感器技术》2005年第7期35-37,40,共4页Journal of Transducer Technology

摘　　要：运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作。With ANSYS,a finit element analysis software and the rigidity matrix arithmetic,the stress analysis and the mode analysis of a MEMS high g accelerometer structure are performed.The stress,the maximum displacement and the mode response of the accelerometer are calculated under the 50000g_n impact environment.The result indicates that the accelerometer can work in high shock environment.

关 键 词：微机电系统 加速度计 有限元法 刚度矩阵算法 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]