李仁锋

作品数：10被引量：23H指数：3
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供职机构：中国工程物理研究院更多>>
发文主题：多晶硅薄膜低压化学气相淀积多晶硅LPCVDMEMS更多>>
发文领域：电子电信机械工程一般工业技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《设备管理与维修》《新技术新工艺》《现代电子技术》《计量与测试技术》更多>>
所获基金：国家部委基础科研基金中国人民解放军总装备部预研基金中国工程物理研究院电子工程研究所科技创新基金中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
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X波段MEMS分布式移相器开关机电性能研究被引量：1
《现代电子技术》2010年第13期1-3,共3页张晓升 鲍景富 杜亦佳 李仁锋 
预研基金项目(9140A230604);中国工程物理研究院科技发展基金重点项目(2008A0403016)
介绍一种应用于X波段MEMS分布式移相器的新型单元开关。MEMS分布式移相器具有高品质因数、低插损、低功耗和高隔离度的优点,但由于传统MEMS开关采用固支梁结构,弹性系数过大,下拉电压过高,无法与传统电子系统相兼容,大大限制了其应用和...
关键词：X波段 射频微机电 分布式移相器 机电耦合性能 
硅MEMS器件键合强度在线检测方法被引量：4
《微纳电子技术》2009年第12期758-763,共6页李仁锋 马凯 郑英彬 袁明权 施志贵 吴嘉丽 
国家部委基础科研资助项目
键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用。为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS叉指式器件工艺介绍了一种新型键合强度检测结构;...
关键词：微电子机械系统 阳极键合 键合强度 微结构 在线检测 
微电子机械系统键合强度检测方法研究进展被引量：2
《微纳电子技术》2009年第11期678-683,共6页李仁锋 
国家部委基础科研项目
把微电子机械系统键合强度检测分为传统分层检测方法、微结构检测方法和非破坏性检测方法,并逐一对这些方法进行细分和详细地描述。传统分层检测方法的难点是结构的夹持,而且不能实现在线监测;非破坏性检测方法检测范围有限,而且检测仪...
关键词：微电子机械系统 键合强度 微结构 在线检测 微力 叉指式器件 
低驱动电压k波段电容耦合式RF MEMS开关的设计被引量：7
《传感器与微系统》2008年第9期75-77,81,共4页刘佳 高杨 白竹川 李仁锋 
武器装备预研计划资助项目
设计了一种低驱动电压的电容耦合式射频微机械(RF MEMS)开关。RF MEMS开关采用共面波导传输线,双电极驱动,悬空金属膜采用弹性折叠梁支撑。使用MEMS CAD软件CoventorWare、微波CAD软件HFSS,分别仿真了开关的力学性能和电磁性能,仿真结...
关键词：射频开关 低驱动电压 仿真 
低压化学气相淀积多晶硅薄膜工艺研究被引量：1
《新技术新工艺》2006年第11期34-35,共2页谭刚 吴嘉丽 李仁锋 
在研制器件过程中,多晶硅制备的工艺条件对其性能影响较大。讨论了低压化学气相淀积(LPCVD)关键材料多晶硅薄膜的基本原理,考察了工作压力、反应温度等对多晶硅薄膜淀积速率的影响,以及影响多晶硅薄膜质量的因素,提出了改进措施,优化了...
关键词：低压化学气相淀积 多晶硅薄膜 淀积速率 优化 
多晶硅薄膜残余应力在线测量技术
《传感器与微系统》2006年第10期74-75,85,共3页李仁锋 吴嘉丽 
介绍了多晶硅薄膜中的残余应力对微结构性能的影响,分析了应力在线测量技术的必要性。说明了T型微检测结构的测试原理,并基于单T型结构设计出双T型检测结构。探讨了检测结构的制作工艺,加工出试验样片,用刻度显微镜测量出试验数据,推导...
关键词：微电子机械系统 多晶硅 薄膜 残余应力 
多晶硅薄膜厚度测量技术被引量：1
《计量与测试技术》2006年第4期9-11,共3页李仁锋 吴嘉丽 谭刚 
中物院电子工程研究所创新基金(NO:S20040206)资助项目
介绍了多晶硅薄膜厚度测量的多种方法,并分析了它们的特点及存在问题,指出选择测量方法和仪器应注意的问题。
关键词：MEMS 多晶硅 薄膜 
MEMS高g值加速度计力学分析被引量：3
《传感器技术》2005年第7期35-37,40,共4页李仁锋 文贵印 程永生 
运用有限元软件ANSYS并结合刚度矩阵算法对一种高g值加速度计结构进行了应力分析和模态分析,得到了在50000gn值的冲击下加速度计的应力、最大位移、模态响应,表明该结构能够在高冲击环境下安全工作。
关键词：微机电系统 加速度计 有限元法 刚度矩阵算法 
低压化学气相淀积设备使用与维护技术
《设备管理与维修》2005年第S1期189-192,共4页谭刚 吴嘉丽 李仁锋 
LPCVD 是大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)以及半导体光电器件工艺领域里的主要工艺之一。PCVD 技术可以提高淀积薄膜的质量,使膜层具有均匀性好、缺陷密度低、台阶覆盖性好等优点,成为制备 Si_3N_4薄膜的主要方法。热壁 LP...
关键词：淀积 POLY 硅片 石英舟 淀积速率 LPCVD 设备使用 
弹性梁刚度矩阵算法及应用被引量：4
《传感器技术》2003年第8期62-64,68,共4页李仁锋 程永生 文贵印 高杨 
通过实例介绍了一种实用简单的弹性梁结构刚度矩阵计算方法,可广泛应用于含有弹性梁结构的惯性器件如传感器的设计中。最后介绍了该算法的一种应用,并用ANSYS有限元软件分析验证了其正确性。
关键词：刚度矩阵 弹性梁 传感器 弹性梁结构 ANSYS有限元软件 
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