高保真类金刚石／钛复合球顶高频扬声器振膜的研制  

作　　者：袁镇海[1] 谢致薇[1] 罗广南[1] 邓其霖 戴达煌[1] 郑建红 

机构地区：[1]广州有色金属研究院

出　　处：《电声技术》1995年第8期10-13,共4页Audio Engineering

摘　　要：本文采用真空阴极电弧沉积方法在纯钛球顶扬声器振膜基体上沉积类金刚石（ＤＬＣ）薄膜。研制成ＤＬＣ／Ｔｉ复合球顶振膜。着重讨论了钛基体的材质、厚度、振膜形状尺寸、ＤＬＣ镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响，并讨论了在镀膜过程中采用辅助工夹具以及合理的遮挡技术，保证振膜不变形和最佳的ＤＬＣ膜层厚度与分布，使ＤＬＣ／Ｔｉ球顶复合振膜频响达３０ｋＨｚ。

关 键 词：扬声器振膜 类金刚石 镀膜工艺 

分 类 号：TN643.05[电子电信—电路与系统] TN304.18