戴达煌

作品数：21被引量：56H指数：5
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供职机构：广州有色金属研究院更多>>
发文主题：类金刚石膜类金刚石氮化钛沉积TIN硬质合金更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术理学电子电信更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《电声技术》《功能材料》《金属热处理》更多>>
所获基金：广东省自然科学基金广东省技术创新更多>>
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WC/DLC纳米多层膜微观结构研究被引量：6
《真空科学与技术学报》2013年第1期41-44,共4页王翔 代明江 戴达煌 侯惠君 林松盛 
阳极层流型气体离子源与非平衡磁控溅射复合技术沉积制备WC/DLC纳米多层膜,并在膜/基间设计了中间过渡层。用扫描电镜、拉曼光谱仪、光电子能谱仪、X衍射仪、透射电镜、干涉显微镜等,对WC/DLC纳米多层膜的微观形貌结构进行分析研究。结...
关键词：非平衡磁控溅射 离子源 WC DLC纳米多层膜 微观结构 
CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构被引量：6
《中国有色金属学报》2009年第2期259-264,共6页林松盛 代明江 朱霞高 李洪武 侯惠君 林凯生 况敏 戴达煌 
广东省技术创新基金资助项目(200503027)
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分...
关键词：CrTiAlCN薄膜 磁控溅射 离子束辅助 
RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究被引量：3
《广东有色金属学报》2006年第3期188-191,共4页朱霞高 侯惠君 林松盛 袁镇海 戴达煌 
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法（RF—PCVD）低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜（DLC），主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压U2、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响...
关键词：射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积 类金刚石膜 比功率密度 磁感应强度 
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响被引量：1
《广东有色金属学报》2002年第1期17-20,共4页代明江 宋进兵 周克崧 戴达煌 刘正义 瞿全炎 
广州市基础性研究项目 (98- J- 0 14 - 0 1)
以甲烷为碳源气体 ,用直流等离子射流法制备了金刚石膜 .研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响 .结果表明 ,在甲烷浓度φ(CH4)为 1.5 %时 ,可以获得较高热导率的金刚石膜 .
关键词：甲烷 金刚石膜 表面形貌 热导率 浓度 
等离子体化学气相沉积的布气装置之设计被引量：1
《广东有色金属学报》2002年第1期21-25,共5页黄绍江 谢红希 侯惠君 戴达煌 
推导了在设计真空镀膜设备时 ,计算镀膜室内布气管的直径和出气孔孔径的公式 ,di =[d-41- D-4L∑im=2(n + 1- m) /(h + 10 -6Bq) ]-1/4 ,以达到均匀布气的目的 .给出了在等离子体化学气相沉积设备中的计算实例及应用情况 ,实践证明 ,用...
关键词：等离子体化学气相沉积 布气装置 设计 真空沉积 流量分布 管道流动 
真空阴极电弧沉积碳氮膜的研究被引量：1
《真空科学与技术》2001年第4期329-331,共3页袁镇海 付志强 邓其森 林松盛 郑健红 戴达煌 
广东自然科学基金项目 (95 0 734)
以氮气为反应气体 ,用真空阴极电弧沉积法沉积了CNx膜 ,并利用金相显微镜、Auger电子谱仪、FTIR及XRD对其进了分析。结果表明 :真空阴极电弧沉积法可以制备含N量高。
关键词：真空阴极电弧沉积 氮气 碳氮膜 制备 结构 化学成分 
碳氮膜的沉积工艺及其结构研究
《广东有色金属学报》2001年第2期134-137,共4页付志强 顾子平 袁镇海 邓其森 林松盛 郑健红 戴达煌 
广东省自然科学基金项目 (95 0 734)
以氨气为反应气体 ,用真空阴极电弧沉积法制备了 CNx 膜 ,研究了工艺参数对膜层的沉积速率、化学成分的影响及膜层结合状态 .结果表明 :沉积速率随着氨气分压的提高而下降 ,当氨气分压达到 6 .7Pa时将没有膜的沉积 ;CNx 膜主要由碳和氮...
关键词：电弧沉积 VCAD 氨气 增氮膜 
硬质合金刀具的类金刚石涂层的研究被引量：8
《广东有色金属学报》2001年第1期55-58,共4页袁镇海 付志强 邓其森 林松盛 郑健红 罗广南 谢致薇 戴达煌 
采用优化的沉积类金刚石（ＤＬＣ）涂层工艺及过渡层技术，在硬质合金上制备出性能优良 的ＤＬＣ膜．实验室切削试验与工业生产现场切削表明：在切削铝青铜和共晶铝硅合金时，ＤＬＣ膜
关键词：类金刚石涂层 硬质合金 涂层刀具 
真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜在扬声器振膜上应用的研究被引量：1
《广东有色金属学报》1998年第1期52-56,共5页谢致薇 郑健红 袁镇海 邓其森 罗广南 戴达煌 付志强 
中国有色金属工业总公司高新技术课题
采用真空阴极电弧沉积技术 ,在纯钛球顶高音扬声器振膜上镀类金刚石膜 ,成为类金刚石 /钛复合振膜 .研究了钛基体的材质、厚度、振膜的几何尺寸和形状、类金刚石镀膜工艺参数对复合振膜性能的影响 .在镀膜过程中采用特殊的辅助夹具以及...
关键词：VCAD 类金刚石膜 扬声器 振膜 
真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜的研究被引量：8
《广东有色金属学报》1997年第2期131-136,共6页袁镇海 谢致薇 罗广南 邓其森 郑健红 戴达煌 付志强 
中国有色金属工业总公司高新技术课题
克服了真空石墨电弧沉积过程中的一些难点,成功地利用真空阴极电弧沉积法制备了类金刚石膜,并对其表面形貌、硬度及结合强度、结构进行了分析,结果表明,真空阴极电弧沉积法是制备综合性能良好的光亮类金刚石膜的有效方法．类金刚石膜为...
关键词：真空阴极电弧沉积 类金刚石膜 
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