甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响  

Effect of methane concentration on morphologies and thermal conductivity of diamond films

作　　者：代明江[1] 宋进兵[1] 周克崧[1] 戴达煌[1] 刘正义[2] 瞿全炎[2] 

机构地区：[1]广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心,广东广州510651 [2]华南理工大学,广东广州510650

出　　处：《广东有色金属学报》2002年第1期17-20,共4页Journal of Guangdong Non-Ferrous Metals

基　　金：广州市基础性研究项目 (98- J- 0 14 - 0 1)

摘　　要：以甲烷为碳源气体 ,用直流等离子射流法制备了金刚石膜 .研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响 .结果表明 ,在甲烷浓度φ(CH4)为 1.5 %时 ,可以获得较高热导率的金刚石膜 .Thick diamond films were deposited by DC plasma jet using methane as carbon source. Effect of methane concentration on morphologies and thermal conductivity of the deposited thick diamond films were studied. The results shows that thick diamond films deposited with 1\^5% (volume fraction in hydrgen) methane have higher thermal conductivity.

关 键 词：甲烷 金刚石膜 表面形貌 热导率 浓度 

分 类 号：O484[理学—固体物理] TN304.18[理学—物理]