李洪武

作品数：14被引量：69H指数：6
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供职机构：广州有色金属研究院更多>>
发文主题：类金刚石膜非平衡磁控溅射工模具离子源机械性能更多>>
发文领域：一般工业技术金属学及工艺理学电子电信更多>>
发文期刊：《摩擦学学报（中英文）》《模具制造》《中国有色金属学报》《材料科学与工程学报》更多>>
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CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构被引量：6
《中国有色金属学报》2009年第2期259-264,共6页林松盛 代明江 朱霞高 李洪武 侯惠君 林凯生 况敏 戴达煌 
广东省技术创新基金资助项目(200503027)
采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分...
关键词：CrTiAlCN薄膜 磁控溅射 离子束辅助 
非平衡磁控溅射沉积TiC/a-C多层膜的组织结构被引量：3
《材料科学与工程学报》2008年第5期684-687,672,共5页肖晓玲 洪瑞江 林松盛 李洪武 侯惠君 
广东省自然科学基金资助项目(06026151A)
本文采用非平衡磁控溅射沉积技术,分别以石墨和甲烷气体为碳源,制备TiC/a-C多层膜。利用X-射线衍射仪、透射电子显微镜、俄歇电子能谱仪和拉曼光谱仪等实验手段对所沉积的TiC/a-C多层膜的组织形态、结构及成份进行了分析。结果表明:所...
关键词：TiC/a-C薄膜 非平衡磁控溅射 组织形态 
硬质薄膜的研制及其在模具上的应用被引量：2
《模具制造》2008年第9期76-82,共7页林凯生 李洪武 林松盛 侯惠君 朱霞高 代明江 
材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一,近年来,由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术的应用为解决这一问题提供了有效的途径,许多技术已实现工业化生产。本文综述了各种硬质薄膜的发展状况、性能及应用情...
关键词：硬质薄膜 性能 应用 模具 
中频磁控溅射沉积梯度过渡Cr/CrN/CrNC/CrC膜的附着性能被引量：9
《中国有色金属学报》2007年第8期1307-1312,共6页牛仕超 余志明 代明江 林松盛 侯惠君 李洪武 
国家科技部资助项目(国科发财字[2005]300号)
采用中频磁控溅射结合无灯丝离子源技术沉积梯度Cr/CrN/CrNC/CrC膜层,设计两组正交实验对膜层中界面Cr层及梯度层沉积的工艺参数对附着性能的影响进行研究。利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)对其表面形貌及梯度成分进行表征;用划痕仪...
关键词：CRC 中频磁控溅射 离子源 附着力 
钛合金表面掺金属类金刚石薄膜的摩擦磨损性能研究被引量：13
《摩擦学学报》2007年第4期382-386,共5页林松盛 代明江 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 牛仕超 
采用阳极层流型矩形气体离子源结合非平衡磁控溅射法在钛合金基体表面制备掺金属类金刚石(Me-DLC)薄膜,通过X射线光电子能谱仪、俄歇微探针、表面形貌仪及扫描电子显微镜等对薄膜结构进行表征,用SRV型摩擦磨损试验机评价其摩擦磨损性能...
关键词：气体离子源 非平衡磁控溅射 掺金属类金刚石膜 钛合金 摩擦磨损性能 
TiN/AlN纳米多层膜的调制周期及力学性能研究被引量：4
《真空》2007年第4期52-54,共3页陈德军 代明江 林松盛 李洪武 候惠君 
采用一种新型的离子束辅助非平衡反应磁控溅射设备制备了TiN/AlN纳米多层复合膜。采用XRD衍射、TEM、显微硬度计和干涉显微镜对TiN/AlN纳米多层膜的微结构和力学性能进行了表征。结果表明:TiN/AlN多层膜有良好的周期;调制结构影响薄膜...
关键词：纳米多层膜 调制周期 非平衡反应磁控溅射 力学性能 
Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC梯度膜层的研究被引量：9
《中国表面工程》2007年第3期34-38,共5页牛仕超 余志明 代明江 林松盛 候惠君 李洪武 
国家科技部项目;国科发财字[2005]300号
采用中频磁控溅射结合离子源技术沉积Cr/CrN/CrNC/CrC/Cr-DLC膜层。利用扫描电镜(SEM)、电子能谱(EDS)、Raman光谱和俄歇深层剥层分别对膜层微观形貌、成分组成、键结构及梯度成分深层分布进行分析;采用努氏显微硬度计、摩擦磨损试验机...
关键词：Cr-DLC 中频磁控溅射 离子源 附着力 
掺钛类金刚石膜的微观结构研究被引量：13
《真空科学与技术学报》2007年第5期418-421,共4页林松盛 代明江 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 
采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行...
关键词：掺钛类金刚石膜 微观结构 离子源 非平衡磁控溅射 
纳米多层膜机械性能研究进展被引量：2
《模具工程》2007年第1期29-33,共5页陈德军 代明江 林松盛 李洪武 候惠君 
由不同材料以纳米级厚度相互交替组成的纳米多层膜，在某一调制周期范围内具有超硬效应，显示出作为耐磨涂层的广阔应用前景。近年来纳米多层膜机械性能的研究一直是研究的热点，本文综述了近年来国内外学者对纳米多层膜机械性能的研究...
关键词：纳米多层膜 机械性能 超硬效应 
掺钨类金刚石膜的制备与性能研究被引量：5
《广东有色金属学报》2006年第3期184-187,共4页侯惠君 李洪武 林松盛 朱霞高 林凯生 代明江 
采用无灯丝长条离子源结合非平衡磁控溅射的方法，在不同基体上制备了面积较大、光滑、均匀的掺钨类金刚石（W-DLC）膜层，用SEM、Raman、XPS、XRD、硬度计、划痕仪、摩擦磨损试验机等手段分析和研究了膜层的形貌、结构及部分性能．结...
关键词：掺钨类金刚石膜 无灯丝离子源 非平衡磁控溅射 
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