离子束辅助

作品数：312被引量：754H指数：12
导出分析报告
相关领域：理学金属学及工艺更多>>
相关作者：曾飞柳襄怀李德军杭凌侠潘峰更多>>
相关机构：中国科学院清华大学西安工业大学中国地质大学（北京）更多>>
相关期刊：更多>>
相关基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划天津市应用基础与前沿技术研究计划更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-10
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
2.5 m口径反射镜宽光谱高反射率反射膜的研究
《天文学报》2025年第2期53-61,共9页田杰 李新南 王晋峰 王俊 宗卫杰 谢多 路金豪 黄亚 
国家自然科学基金项目(11627804)资助。
为提高天文望远镜的观测能力,望远镜主镜口径不断增大,同时对其膜层要求也更为严格,要求反射波段更宽且反射率更高.基于国内天文望远镜的需求,研究了一种基于离子束辅助沉积技术的大口径镜面宽光谱高反射膜镀制技术.通过分析3.2 m镀膜...
关键词：仪器:宽光谱高反射膜 望远镜 技术:光谱 技术:离子束辅助沉积 
离子能量对 IBAD-MgO 双轴织构的影响
《上海大学学报(自然科学版)》2025年第1期115-121,共7页瞿天睿 韩超 高波 白传易 李敏娟 彭思思 周迪帆 蔡传兵 
国家重点研发计划资助项目(2022YFE03150200);国家自然科学基金资助项目(52172271,52307026,52477022);上海市科技创新行动计划资助项目(23511101600)。
采用离子束辅助沉积(ion beam-assisted deposition,IBAD)技术在非织构的金属基带上沉积双轴织构的MgO薄膜,研究了不同Ar^(+)离子束流能量对MgO双轴织构和表面形貌的影响.结果表明:在700∼1000 eV离子能量范围内,MgO薄膜的双轴织构随离...
关键词：离子束辅助沉积 离子能量 双轴织构 
离子束改善薄膜光学特性研究
《激光与光电子学进展》2024年第21期417-423,共7页任翼 周亚东 金尚忠 
国家自然科学基金(22204154)。
提出并设计一款具有双腔室结构的加热灯丝型辅助离子源,解决现有灯丝型离子源无法通入氧化性气体作为工作气体或灯丝工作时间较短的问题,使得该离子源可以用于氧化物薄膜的辅助制备,兼具活化源的部分功能。同时,设计相关的实验验证提出...
关键词：离子束辅助镀膜 离子源 结构设计 透射率 折射率 吸收度 
灯丝型辅助离子源的设计及其对薄膜参数的改善研究
《电镀与精饰》2024年第7期99-106,共8页任翼 张殷 周亚东 金尚忠 
国家科学自然基金项目-表面等离激元增强效应模型建立及验证研究(22204154)。
为了以较低成本的技术提高磁控溅射沉积薄膜的纯度、致密性和均匀性,设计出一种可以活化氧气的双腔室直流加热灯丝型辅助离子源。通过实验改变辅助离子源的工作参数,探究其对磁控溅射镀膜机所沉积薄膜的光学参数的影响。通过对比不同工...
关键词：离子源 结构设计 离子束辅助沉积(IBAD) 光学薄膜 
1064 nm负滤光片的设计与制备
《真空科学与技术学报》2023年第7期625-631,共7页刘祺 徐均琪 苏俊宏 刘政 
陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2018KWZ-02);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45)。
针对当前可见-近红外光电探测器的激光防护要求,研究了1064 nm负滤光片的设计和制备。基于等效折射率理论,综合考虑光谱和场强分布优化,设计了由SiO2/Y_(2)O_(3)/H4组合的规整膜系和SiO2/H4组合的非规整膜系负滤光片;采用离子束辅助热...
关键词：负滤光片 设计 优化 离子束辅助 激光损伤阈值 
离子束辅助电子束蒸镀H4膜工艺及其抗激光损伤特性研究被引量：2
《激光与光电子学进展》2022年第19期381-386,共6页李晓雪 黄玲程 郝永芹 
国家自然科学基金(11474038);吉林省科技发展计划项目(20200401073GX)。
采用等离子体辅助电子束镀膜法制备了钛酸镧(H4)薄膜,研究了基底温度和离子束流密度等工艺条件及高温退火和等离子体后处理技术对H4薄膜的光学特性和表面形貌的影响。实验发现,适当地提高基底温度和离子束流密度可以提高薄膜折射率和薄...
关键词：薄膜 离子束辅助电子束镀膜 钛酸镧(H4) 腔面膜 折射率 
离子束辅助沉积Ta/Zr薄膜及栅网应用研究被引量：1
《真空电子技术》2022年第3期69-74,91,共7页杨鹏云 张宏志 李文旭 邱立 
利用离子束辅助沉积方法在Si片上沉积Ta/Zr薄膜,研究辅源离子能量对薄膜表面形貌和粗糙度的影响,通过扫描电镜和光学表面轮廓仪对其表面形貌和粗糙度进行表征。实验结果表明:辅源离子能量对薄膜的生长有很大的影响。Ta/Zr薄膜的沉积速...
关键词：离子束辅助沉积 栅控脉冲行波管 Ta/Zr薄膜 栅网膜层 
激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备被引量：3
《红外与激光工程》2022年第3期408-414,共7页李子杨 刘华松 孙鹏 杨霄 白金林 徐颖 杨仕琪 季一勤 苏建忠 
国家自然科学基金(61775167,61975150);天津市自然科学基金(19 JCZDJC38400);国家拔尖青年人才支持计划;天津市人才发展专项支持计划高层次创新团队。
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展...
关键词：光学薄膜 双谱段减反射 膜系设计 热蒸发离子束辅助沉积 
离子能量筛选器仿真设计
《光学与光电技术》2022年第1期108-114,共7页张骏林 苏俊宏(导师) 郭亮 李建超 万文博 
陕西省重点研发计划(2018KWZ-02)资助项目。
离子源作为一种离子束发射装置,常用于光学薄膜的制备中,但离子束中包含各种能量的离子,在光学薄膜制备过程中严重影响着薄膜成型后的微观结构和性能。针对目前国内外离子源普遍存在输出能谱过宽的缺点,以电磁场理论为基础,并对各能级...
关键词：离子源 离子能量 筛选器 离子束辅助沉积 有限元仿真 
用于全固态355 nm紫外激光器的三波长高反膜被引量：1
《激光与光电子学进展》2021年第19期355-360,共6页庄秋慧 王三强 
重庆理工大学科研启动基金(2017ZD20)。
为了提高激光损伤阈值,采用离子束辅助电子束成膜的方法制备具有355,532,1064 nm三个波长的高反膜。首先使用Lambda950型分光光度计对薄膜样品的光谱性能进行测试,然后验证不同的基底材料及不同的基底清洗工艺对薄膜激光损伤阈值的影响...
关键词：表面光学 薄膜光学 355 nm紫外激光器 离子束辅助电子束 激光损伤阈值 三波长高反膜 
全选清除导出
共31页<12345678910>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部