陈德军

作品数：2被引量：6H指数：2
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：纳米多层膜超硬效应TIN薄膜磁控溅射力学性能更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《模具工程》《真空》更多>>
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TiN/AlN纳米多层膜的调制周期及力学性能研究被引量：4
《真空》2007年第4期52-54,共3页陈德军 代明江 林松盛 李洪武 候惠君 
采用一种新型的离子束辅助非平衡反应磁控溅射设备制备了TiN/AlN纳米多层复合膜。采用XRD衍射、TEM、显微硬度计和干涉显微镜对TiN/AlN纳米多层膜的微结构和力学性能进行了表征。结果表明:TiN/AlN多层膜有良好的周期;调制结构影响薄膜...
关键词：纳米多层膜 调制周期 非平衡反应磁控溅射 力学性能 
纳米多层膜机械性能研究进展被引量：2
《模具工程》2007年第1期29-33,共5页陈德军 代明江 林松盛 李洪武 候惠君 
由不同材料以纳米级厚度相互交替组成的纳米多层膜，在某一调制周期范围内具有超硬效应，显示出作为耐磨涂层的广阔应用前景。近年来纳米多层膜机械性能的研究一直是研究的热点，本文综述了近年来国内外学者对纳米多层膜机械性能的研究...
关键词：纳米多层膜 机械性能 超硬效应 
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