微机械结构的微静电驱动  

Microelectrostatic drive technology of microstructure

作　　者：茅盘松[1] 王修伦[1] 

机构地区：[1]东南大学微电子中心

出　　处：《电子器件》1995年第1期20-23,共4页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理，同时结合硅微机械结构和材料特性，给出微静电驱动实现的考虑。In this paper,the principle of microstatic electric drive technology is analysed,andthe design is give with considering microstructure and material character.

关 键 词：微机械结构 微静电 驱动 硅 

分 类 号：TN305.1[电子电信—物理电子学] TH703.8[机械工程—仪器科学与技术]