王修伦

作品数:5被引量:9H指数:2
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硅微机械振动陀螺的静电驱动被引量:2
《传感器技术》1996年第1期11-13,共3页茅盘松 王修伦 
详细分析了双框架结构的硅微机械振动陀螺的驱动技术。结果说明:为了获得陀螺的最佳灵敏度,陀螺外框架上外加驱动电压的人小和频率的选择受到陀螺内外框架固有频率的约束。
关键词: 振动陀螺 驱动技术 灵敏度 
硅微振动陀螺的理论分析被引量:3
《传感器技术》1995年第6期6-10,共5页茅盘松 王修伦 吴绍夫 
应用欧拉动力学基本方程,对双框架结构的硅微型振动陀螺进行了理论分析,给出了完整的陀螺动力学方程,并且从灵敏度和驱动技术的角度对这种陀螺的机理作了探讨。
关键词: 微型机械 振动陀螺 动力学方程 
硅微型振动陀螺的设计被引量:2
《传感器技术》1995年第5期29-31,35,共4页茅盘松 王修伦 吴绍夫 
从理论和材料力学两方面对硅微机械振动陀螺进行研究,提出了一种简化的结构模型,并介绍了这种陀螺的设计方法。
关键词: 振动陀螺 结构模型 设计 振动陀螺 导航 
硅微机械陀螺的研究
《传感器技术》1995年第4期23-24,29,共3页茅盘松 吴绍夫 王修伦 
介绍硅微机械陀螺的研究。这种陀螺用半导体加工技术生产,该陀螺的突出优点是尺寸小、重量轻、功耗和成本低,它的进一步发展可使仪表小型化,可望从飞机、汽车到电子外科手术仪器和模型飞机等方面得到广泛应用。
关键词:陀螺 微机械加工  半导体加工技术 
微机械结构的微静电驱动被引量:2
《电子器件》1995年第1期20-23,共4页茅盘松 王修伦 
本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理,同时结合硅微机械结构和材料特性,给出微静电驱动实现的考虑。
关键词:微机械结构 微静电 驱动  
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