电泳法玻璃钝化在大功率晶体管上的应用  

作　　者：贾维国 

机构地区：[1]内蒙古半导体器件厂

出　　处：《半导体技术》1989年第6期35-37,共3页Semiconductor Technology

摘　　要：玻璃钝化由于具有高可靠性和稳定性,被广泛用于高反压大功率三极管的台面钝化.目前,形成钝化膜的方法主要有电泳法、阴极溅射法、离子沉淀法、汽相淀积法和“博士”,刀片法等几种方法.电泳法虽然工艺比较复杂,但由于它选择性强,膜厚容易控制,一致性好,光刻兼容容易等特点而被广泛使用.

关 键 词：功率晶体管 玻璃钝化 电泳法 

分 类 号：TN323.405[电子电信—物理电子学]