化学束外延在光电子技术应用中的进展  

^Progress in CBE on the Application of Optoelectronic Technology

作　　者：周增圻[1] 

机构地区：[1]中科院半导体所国家光电子工艺中心

出　　处：《激光与红外》1995年第4期6-10,共5页Laser & Infrared

摘　　要：本文简要介绍了ＣＢＥ技术，综述了近年来ＣＢＥ在光电子技术领域内取得的进展。

关 键 词：化学束外延 光电子技术 化学汽相淀积 应用 

分 类 号：TN405.984[电子电信—微电子学与固体电子学] TN209