光刻单元集的切割重组选择算法  

作　　者：王绍钧[1] 杨立才[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系

出　　处：《计算机应用研究》1995年第4期51-52,共2页Application Research of Computers

摘　　要：本文给出一个效率较高的算法。该算法，通过对ＶＬＳＩ设计图形的切割、重组和选择，建立光刻图形的单元图形集合──光该单元集。

关 键 词：集成电路 VLSI 光刻 切割 算法 微细加工 

分 类 号：TN470.2[电子电信—微电子学与固体电子学]