FSI国际90nm技术节点ANTARES~超凝态过冷动力学技术继续保持全球领先势头  

出　　处：《集成电路应用》2005年第8期28-28,共1页Application of IC

摘　　要：FSI国际有限公司近日宣布：在2005财年第三季度中，来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段（BEOL）缺陷去除的ANTARES系统，随着客户将90nm器件技术应用于批量生产而得到了更广泛的应用。

关 键 词：集成电路 栅结构 超凝态过冷动力学清洗系统 ANTARES FSI国际有限公司 

分 类 号：TN402[电子电信—微电子学与固体电子学]