微型柔性剪切应力传感器的制作研究  

Research on micro flexible shear stress sensor fabrication

作　　者：陈四海[1] 汪殿民[1] 朱福龙[2] 徐涌[2] 易新建[1] 

机构地区：[1]华中科技大学光电子工程系,湖北武汉430074 [2]华中科技大学微系统研究中心

出　　处：《传感器技术》2005年第8期80-82,85,共4页Journal of Transducer Technology

基　　金：国家863计划资助项目(2003AA404090)

摘　　要：利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。Based on microelectromechanical systems（MEMS） technology, a 8×8 elements micro flexible sensor array is fabricated. A shear stress sensor is firstly manufactured on rigid Si substrate, then a silicon islands array is made on the backside of the substrate, which forms a flexible structure. The test results show that the resistance of the sensors is changed little after the bending test and the flexible structure is not broken after 3300 times bending.

关 键 词：微机电系统 剪切应力传感器 硅岛阵列 柔性结构 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TH-39[自动化与计算机技术—控制科学与工程]