徐涌

作品数：1被引量：6H指数：1
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微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：6
《传感器技术》2005年第8期80-82,85,共4页陈四海 汪殿民 朱福龙 徐涌 易新建 
国家863计划资助项目(2003AA404090)
利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性...
关键词：微机电系统 剪切应力传感器 硅岛阵列 柔性结构 
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