采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石  

作　　者：王克忠 高志栋[1] 李玉宝[1] 陈志清[1] 朱艳秋[1] 梁吉[1] 魏秉庆[1] 吴德海[1] 惠梦君[2] 

机构地区：[1]清华大学机械工程系,北京100084 [2]中国科学院物理研究所,北京100080

出　　处：《科学通报》1995年第7期597-599,共3页Chinese Science Bulletin

摘　　要：关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C_(60),C_(70),巴基管)均是由碳原子构成的大分子.近年来,在能够合成这些分子之后,它们即被用于合成金刚石的研究。

关 键 词：热丝法 化学气相沉积 金刚石 富勒烯 薄膜 

分 类 号：O484.1[理学—固体物理]