云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈志清

陈志清: 作品数：4被引量：10H指数：2; 导出分析报告; 供职机构：清华大学更多>>; 发文主题：化学气相沉积金刚石膜热丝法巴基管金刚石更多>>; 发文领域：金属学及工艺理学一般工业技术交通运输工程更多>>; 发文期刊：《科学通报》《清华大学学报（自然科学版）》《人工晶体学报》更多>>

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渗硅合金化45钢化学气相沉积金刚石膜新方法被引量：2: 《金属热处理学报》1996年第3期57-59,共3页高志栋陈志清曾效舒梁吉魏秉庆吴德海; 渗硅合金化４５钢化学气相沉积金刚石膜新方法高志栋，陈志清，曾效舒，梁吉，魏秉庆，吴德海（清华大学）化学气相沉积（ＣＶＤ）金刚石膜的基底通常使用单晶硅。在钢基底上沉积一层金刚石膜，利用其优异的抗磨、化学稳定、绝缘、导热...; 关键词：45钢化学气相沉积金刚石膜渗硅合金化

钢基底上预镀中间层沉积金刚石膜被引量：4: 《清华大学学报（自然科学版）》1996年第8期83-86,共4页陈志清高志栋曾效舒梁吉魏秉庆吴德海; 利用表面预镀中间层在４５号钢上化学气相沉积（ＣＶＤ）得到了金刚石膜。钢基底表面金刚石涂层具有许多潜在应用价值，但直接在钢上沉积生长金刚石面临长的形核期，铁原子的触媒作用和热膨胀不匹配等严重问题。文中采用钢基底表面预镀...; 关键词：金刚石膜化学气相沉积钢表面结构

热丝法CVD在75Si－Fe上沉积金刚石膜被引量：1: 《人工晶体学报》1996年第2期143-146,共4页高志栋陈志清曾效舒梁吉魏秉庆吴德海; 首次在工业７５硅铁上用热丝法气相沉积出了较好的金刚石薄膜。ＳＥＭ、Ｒａｍａｎ检测表明，金刚石薄膜有强烈的选择性生长。初生硅区域［含硅９６ｗｔ．％］金刚石成核生长缓慢，ＦｅＳｉ２区域［含硅５３ｗｔ－％］成核密度约高前者...; 关键词：热丝法金刚石膜沉积 CVD

采用巴基管涂层化学气相沉积金刚石被引量：4: 《科学通报》1995年第7期597-599,共3页王克忠高志栋李玉宝陈志清朱艳秋梁吉魏秉庆吴德海惠梦君; 关于热丝法气相沉积金刚石的研究已经进行了多年,迟滞这种工艺进一步发展的主要技术障碍是沉积速度低,如何提高热丝法沉积金刚石的速率,成为合成金刚石薄膜领域中的一个迫切需要解决的课题.富勒烯族分子(C_(60),C_(70),巴基管)均是由碳...; 关键词：热丝法化学气相沉积金刚石富勒烯薄膜

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