一个校正函数的补偿  

PRECISION COMPENSATION OF A CORRECTING FUNCTION

作　　者：王绍钧[1] 

机构地区：[1]山东工业大学自动化工程系

出　　处：《微细加工技术》1995年第2期1-5,共5页Microfabrication Technology

摘　　要：本文利用畸变函数的偏导数对文献［１］中给出的校正函数进行补偿，使其具有更高的精度。The partial derivative of the distorting function is used to compensate the correcting function given by[1],so as to acquire higher precision.

关 键 词：像差畸变 电子束曝光 校正函数 补偿 

分 类 号：TN305.7[电子电信—物理电子学]