扎波罗热钛镁联合企业的半导体硅与锗的生产技术状况  

作　　者：法勒克维奇З.С. 兰春梅 

机构地区：[1]北京三晶电子有限公司

出　　处：《稀有金属》1995年第1期69-71,共3页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：扎波罗热钛镁联合企业具有30余年的半导体生产历史,拥有从原料制备、单晶生长到成品加工的系统工艺,该厂生产规模较大、技术水平高,还有强大的研究开发与检验测试组织。

关 键 词：硅单晶 硅多晶 锗单晶 生产 半导体 

分 类 号：TN304.105[电子电信—物理电子学]