重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定  

作　　者：常青[1] 曾世铭[1] 何林[1] 王君毅[1] 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院

出　　处：《稀有金属》1995年第3期235-236,共2页Chinese Journal of Rare Metals

摘　　要：重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定常青，曾世铭，何林，王君毅（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：硅单晶，锑，掺杂，蒸发速率，测定（一）实验重掺锑硅单晶是在ＣＧ－３０００型直拉单晶炉上研制的，直径为８２ｍｍ，晶向（１１１）。石英坩埚直径为...

关 键 词：硅 单晶 锑 掺杂 蒸发速率 测定 

分 类 号：O613.72[理学—无机化学]