半导体技术  

出　　处：《中国无线电电子学文摘》2006年第4期27-34,共14页

关 键 词：铁电薄膜 TN 电子器件 SiC 纳电子技术 国家重点实验室 电介质薄膜 杂质态 异质结双极晶体管 半导体技术 电子技术 

分 类 号：TN304[电子电信—物理电子学]